D500系列氣體質量流量控制器及配套的LCD顯示2000型氣體質量流量控制器累積顯示儀、LED顯示800型氣體質量流量控制器顯示儀	D600系列一體化數字式氣體質量流量計/一體化數字式氣體質量流量控制器

氣體質量流量控制器MFC/氣體質量流量計MFM/智能型氣體質量流量控制器/數字式氣體質量流量控制器/液晶顯示氣體質量流量控制器/一體化顯示氣體質量流量控制器/氣體微流量流量計/微小流量氣體流量控制器/小流量氣體流量計流量控制器/帶控制功能的氣體流量計/分體型氣體質量流量控制器/帶調節功能的氣體質量流量計/一體化顯示氣體質量流量計/數字式液晶顯示氣體質量流量計流量控制器/高壓氣體質量流量計流量控制器/耐溫100℃分體型氣體質量流量計//高溫型氣體質量流量控制器/高溫型氣體質量流量計/耐溫100度/小流量氣體流量計/微流量氣體流量計/小流量氣體質量流量計/微流量氣體質量流量計/微流量氣體流量控制器/高壓氣體質量流量計/高壓氣體質量流量控制器/高壓氣體流量計/高壓氣體流量控制儀/高壓流量控制儀/防爆氣體質量流量計/防爆氣體質量流量控制器/防爆型流量控制儀/防爆型瞬時流量控制器/防爆型氣體瞬時流量控制儀/一體化防爆型氣體瞬時流量控制器/一體化防爆天然氣流量控制器/卡套連接氣體質量流量控制器/VCR接頭氣體質量流量控制器/法蘭連接氣體質量流量控制器/大流量氣體質量流量控制器/3000SLM流量控制器
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□ 氣體質量流量計MFM/氣體質量流量控制器MFC工作原理
氣體質量流量計MFM由傳感器、分流器、主通道及電路板等構成，用于測量潔凈氣體流量。
氣體質量控制器MFC除了具有與MFM類似的各個部件外，還有一個流量調節閥及PID控制電路，它不但可以測量氣體流量，還可以控制氣體流量。
氣體通過質量流量控制器（質量流量計）時，大部分氣體通過分流器，小部分氣體流過流量傳感器。流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理直接測量氣體的質量流量，并將流量傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器進行線性化處理，輸出與瞬時流量成正比的電壓信號0-5VDC。放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將比較后的差值電壓放大后去驅動控制閥門，PID閉環控制，使流過通道的氣體流量與設定的氣體流量相等。
在氣體壓力、溫度變化的情況下，氣體質量流量計（氣體質量流量控制器）能精確測量（控制）氣體流量。
因為氣體質量流量計MFM/氣體質量流量控制器MFC測得的是氣體的質量流量而不是體積流量，其質量流量單位通常表示為SCCM/SCCPM（標準毫升每分鐘）或SLM/SLPM（標準升每分鐘）。
標準狀態是指壓力為一個大氣壓（101.325KPa）、溫度為0℃。因為在標準狀態下，氣體的密度是一個常數，該密度乘以標準狀態下的體積就是質量數，所以標準狀態下的體積流量等同于質量流量。
因此，在選擇氣體質量流量計或氣體質量流量控制器時，需要確認流量范圍是不是該標準狀態下的標況體積流量（也就是質量流量）。如果是工況流量，需用下列公式換算為標況體積流量。
在不考慮壓縮因子的情況下，氣體標況流量與工況流量的換算公式為：
Q標況＝Q工況 * 〔(P表壓+0.1)/0.1〕 * 〔 273.15/(273.15+T工況)〕
防腐型氣體質量流量計MFM、防腐型氣體質量流量控制器MFC采用特殊的密封材料，可用于測量干燥氯氣、二氧化硫、氯甲烷等腐蝕性氣體。

□ 流量標定和不同氣體的流量換算
我公司氣體質量流量計（MFM）或氣體質量流量控制器（MFC）出廠時用氮氣（N2）進行標定。如果要求使用其它氣體標定，請咨詢或訂貨時預先說明。
流量單位規定為：標準毫升/分（SCCM / SCCPM）；標準升/分（SLM / SLPM）
標準狀態規定為：溫度——0℃；氣壓——101325Pa(760mmHg)。
用氮氣標定的MFC或MFM用戶測量其它氣體時，可以通過我公司提供的轉換系數進行換算：將MFC或MFM顯示出的流量讀數，與該使用氣體的轉換系數相乘，即是該被測氣體在標準狀態下的質量流量。
如：一臺出廠用氮氣標定，量程為100SCCM的氣體質量流量計，通乙烯氣體時顯示的流量為85SCCM，經查找我公司系數轉換表可知乙烯轉換系數為0.598，則乙烯的實際流量為85×0.598，即51SCCM。
1、單組份氣體與氮氣的流量轉換系數列表：（以下密度單位是指0℃時g/L，比熱單位為Cal/g℃）
-- 空氣流量計，化學分子式：Air，轉換系數：1.006；密度1.2930；比熱0.2400。
-- 氬氣流量計，化學分子式：Ar，轉換系數：1.415；密度1.7837；比熱0.1250。
-- 砷烷流量計，化學分子式：AsH3，轉換系數：0.673；密度3.4780；比熱0.1168。
-- 三溴化硼流量計，化學分子式：BBr3，轉換系數：0.378；密度11.1800；比熱0.0647。
-- 三氯化硼流量計，化學分子式：BCl3，轉換系數：0.43；密度5.2270；比熱0.1217。
-- 三氟化硼流量計，化學分子式：BF3，轉換系數：0.508；密度3.0250；比熱0.1779。
-- 硼烷流量計，化學分子式：B2H6，轉換系數：0.441；密度1.2350；比熱0.5020。
-- 四氯化碳流量計，化學分子式：CCl4，轉換系數：0.307；密度6.8600；比熱0.1297。
-- 四氟化碳流量計，化學分子式：CF4，轉換系數：0.428；密度3.9636；比熱0.1659。
-- 甲烷流量計，化學分子式：CH4，轉換系數：0.719；密度0.7150；比熱0.5318。
-- 乙炔流量計，化學分子式：C2H2，轉換系數：0.581；密度1.1620；比熱0.4049。
-- 乙烯流量計，化學分子式：C2H4，轉換系數：0.598；密度1.2510；比熱0.3658。
-- 乙烷流量計，化學分子式：C2H6，轉換系數：0.481；密度1.3420；比熱0.4241。
-- 丙炔流量計，化學分子式：C3H4，轉換系數：0.421；密度1.7870；比熱0.3633。
-- 丙烯流量計，化學分子式：C3H6，轉換系數：0.398；密度1.8770；比熱0.3659。
-- 丙烷流量計，化學分子式：C3H8，轉換系數：0.348；密度1.9670；比熱0.3990。
-- 丁炔流量計，化學分子式：C4H6，轉換系數：0.322；密度2.4130；比熱0.3515。
-- 丁烯流量計，化學分子式：C4H8，轉換系數：0.294；密度2.5030；比熱0.3723。
-- 丁烷流量計，化學分子式：C4H10，轉換系數：0.255；密度2.5930；比熱0.4130。
-- 戊烷流量計，化學分子式：C5H12，轉換系數：0.217；密度3.2190；比熱0.3916。
-- 甲醛流量計，化學分子式：C7H8，轉換系數：0.246；密度4.060；比熱。
-- 甲醇流量計，化學分子式：CH3OH，轉換系數：0.584；密度1.4300；比熱0.3277。
-- 環氧乙烷流量計，化學分子式：C2H4O，轉換系數：0.535；密度1.926；比熱0.2653。選金屬密封
-- 乙醇流量計，化學分子式：C2H6O，轉換系數：0.392；密度2.0550；比熱0.3398。
-- 三氯乙烷流量計，化學分子式：C2H3Cl3，轉換系數：0.278；密度5.9500；比熱0.1654。
-- 一氧化碳流量計，化學分子式：CO，轉換系數：1；密度1.2500；比熱0.2488。
-- 二氧化碳流量計，化學分子式：CO2，轉換系數：0.737；密度1.9640；比熱0.2017。
-- 氰氣流量計，化學分子式：C2N2，轉換系數：0.452；密度2.3220；比熱0.2608。
-- 氯氣流量計，化學分子式：Cl2，轉換系數：0.858；密度3.1630；比熱0.1145。
-- 氘氣流量計，化學分子式：D2，轉換系數：0.998；密度0.1798；比熱1.7325。
-- 氟氣流量計，化學分子式：F2，轉換系數：0.931；密度1.6950；比熱0.1970。
-- 四氟化鍺流量計，化學分子式：GeCl4，轉換系數：0.267；密度9.5650；比熱0.1072。
-- 鍺烷流量計，化學分子式：GeH4，轉換系數：0.569；密度3.4180；比熱0.1405。
-- 氫氣流量計，化學分子式：H2，轉換系數：1.01；密度0.0899；比熱3.4224。
-- 溴化氫流量計，化學分子式：HBr，轉換系數：1；密度3.6100；比熱0.0861。
-- 氯化氫流量計，化學分子式：HCl，轉換系數：1；密度1.6270；比熱0.1911。
-- 甲醛流量計，化學分子式：HCHO，轉換系數：0.722；密度1.3780；比熱。
-- 氟化氫流量計，化學分子式：HF，轉換系數：1；密度0.8930；比熱0.3482。
-- 碘化氫流量計，化學分子式：HI，轉換系數：0.999；密度5.7070；比熱0.0545。
-- 硫化氫流量計，化學分子式：H2S，轉換系數：0.844；密度1.5200；比熱0.2278。
-- 氦氣流量計，化學分子式：He，轉換系數：1.415；密度0.1786；比熱1.2418。
-- 氪氣流量計，化學分子式：Kr，轉換系數：1.415；密度3.7390；比熱0.0593。
-- 氮氣流量計，化學分子式：N2，轉換系數：1；密度1.2500；比熱0.2486。
-- 氖氣流量計，化學分子式：Ne，轉換系數：1.415；密度0.9000；比熱0.2464。
-- 氨氣流量計，化學分子式：NH3，轉換系數：0.719；密度0.7600；比熱0.5005。
-- 一氧化氮流量計，化學分子式：NO，轉換系數：0.976；密度1.3390；比熱0.2378。
-- 二氧化氮流量計，化學分子式：NO2，轉換系數：0.741；密度2.0520；比熱0.1923。
-- 一氧化二氮流量計，化學分子式：N2O，轉換系數：0.709；密度1.9640；比熱0.2098。
-- 氧氣流量計，化學分子式：O2，轉換系數：0.992；密度1.4270；比熱0.2196。
-- 三氯化磷流量計，化學分子式：PCl3，轉換系數：0.358；密度6.1270；比熱0.1247。
-- 磷烷流量計，化學分子式：PH3，轉換系數：0.691；密度1.5170；比熱0.2610。
-- 五氟化磷流量計，化學分子式：PF5，轉換系數：0.302；密度5.6200；比熱0.1611。
-- 三氯氧磷流量計，化學分子式：POCl3，轉換系數：0.302；密度6.8450；比熱0.1324。
-- 四氯化硅流量計，化學分子式：SiCl4，轉換系數：0.284；密度7.5847；比熱0.1270。
-- 四氟化硅流量計，化學分子式：SiF4，轉換系數：0.348；密度4.6430；比熱0.1692。
-- 硅烷（四氫化硅）流量計，化學分子式：SiH4，轉換系數：0.599；密度1.4330；比熱0.3189。
-- 二氯氫硅流量計，化學分子式：SiH2Cl2，轉換系數：0.412；密度4.5060；比熱0.1472。
-- 三氯氫硅流量計，化學分子式：SiHCl3，轉換系數：0.34；密度6.0430；比熱0.1332。
-- 六氟化硫流量計，化學分子式：SF6，轉換系數：0.264；密度6.5160；比熱0.1588。
-- 二氧化硫流量計，化學分子式：SO2，轉換系數：0.687；密度2.8580；比熱0.1489。
-- 四氯化鈦流量計，化學分子式：TiCl4，轉換系數：0.206；密度8.4650；比熱0.1572。
-- 六氟化鎢流量計，化學分子式：WF6，轉換系數：0.215；密度13.2900；比熱0.0956。
-- 氙氣流量計，化學分子式：Xe，轉換系數：1.415；密度5.8580；比熱0.0379。
未列出的單組份氣體的流量轉換參數，可來電咨詢我公司。
2、多組份氣體或混合氣體與氮氣的流量換算系數的計算
如果用戶測量的是多組分氣體（假定由n種氣體組成），請按下列公式計算其轉換系數C：
基本公式：C=(0.3106*N) / (ρ*Cp）
其中：ρ為氣體的密度
Cp為該氣體的比熱值
N為該氣體構成分子系數：
-- 如果該氣體屬于單原子分子，如Ar、He等，則N=1.01
-- 如果該氣體屬于雙原子分子，如CO、N2等，則N=1.00
-- 如果該氣體屬于三原子分子，如CO2、NO2等，則N=0.94
-- 如果該氣體屬于多原子分子，如NH3、C4H8等，則N=0.88
-- 如果該氣體屬于混合氣體，則N=N1（ω1/ωT）+ N2（ω2/ωT）+ … + Nn（ωn/ωT）
因此，可以導出公式為：

其中：ω1…ωn為相應氣體的流量
ωT…為混合氣體的流量
Ρ1…Ρn為相應氣體的密度
Cp1…Cpn為相應氣體的比熱
N1…Nn為相應氣體的分子構成系數。
對于多組份或混合氣體的流量轉換參數的計算問題，可來電咨詢我公司。

□ D500系列氣體質量流量計/氣體質量流量控制器參數表(可定做分體式耐高溫100℃的氣體質量流量計/控制器)
D500系列氣體質量流量計/氣體質量流量控制器由氣體質量流量傳感器（氣體質量流量控制器還包括電磁調節閥）、信號線電源線、氣體質量流量控制器顯示儀等構成。

項目型號	主要技術指標
流量范圍	0～2, 0～5, 0～10, 0～20, 0～30, 0～50, 0～100, 0~ 200, 0～300, 0～500 SCCPM 0～1，2，3，5，10，20，30，50，100，150，200，300，500，1000，1500，2000，2500，3000 SLPM
準確度%FS	±1.0%FS, ±1. 5%FS, ±2.0%FS
性能	量程比50:1,重復性±0.2%FS，響應時間1～4s
工作壓差	0.05～0.3MPa，0.3-1.0MPa，或按用戶要求定制
耐壓MPA	3MPa，10MPa，15MPa，最大25MPa
介質溫度	0～60℃
輸出信號	0~5VDC,4-20mA，RS232，RS485
電源	±15VDC/50mA、24VDC/300mA 、220VAC電源適配器
氣路連接	雙卡套3,6,8,10,12mm,；swagelok雙卡套1/8",1/4",3/8"，1/2"，3/4"；VCR接頭1/8"，1/4",3/8"，1/2"法蘭DN25
介質流向	標準型：從左到右。（一體型如果流向不對，請）
外形尺寸	158 x 30x128 ，185x45x145不等
重量	1.2、2.5、4、6、10不等
以標準狀態下（0℃ 101325Pa）氮氣進行標定，其他氣體乘以轉換系數或者按用戶指定氣體進行標定

□ D600系列數字式一體型氣體質量流量計/氣體質量流量控制器參數表
D600系列一體型氣體質量流量計/氣體質量流量控制器是我公司最新推出的數字化流量計產品。它采用單電源供電(6~16VDC或24VDC)，一體化液晶顯示瞬時流量、累積流量，對于氣體質量流量控制器，更是集成了電磁調節閥，可以直接在液晶面板上設定控制瞬時流量，也可以直接連電腦顯示控制；數字，模擬輸入輸出；具有多氣體多量程，高精度等特點。

流量范圍	0～5，10，20，30，50，100，200，300，500 SCCM/SCCPM 0～1，2，3，5，10，20，30，50，100，150，200，300，500，1000，1500，2000，2500，3000 SLM/SLPM
準確度	±1%FS
性能	線性±0.5～2%FS 重復性±0.2%FS 響應時間1～4s
工作壓差（僅對MFC）	0.05～0.3MPa，0.3-1.0MPa，或按用戶要求定制
最大耐壓	3MPa，10MPa，15MPa，最大25MPa
工作溫度	0～60℃
輸出信號	0~5VDC，4-20mA，RS485，RS232
電源	12VDC/1A，24VDC 500mA，220VAC電源適配器
氣路連接	雙卡套3,6,8,10,12mm,；swagelok雙卡套1/8",1/4",3/8"，1/2"，3/4"；VCR接頭1/8"，1/4",3/8"，1/2"法蘭DN25

□ 氣體質量流量計/氣體質量流量控制器注意事項
1、氣體質量流量計/氣體質量流量控制器在出廠前均根究用戶要求調整好，用戶不得隨意自行調整。
2、使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時，須在氣路中加裝過濾器等。如果氣體質量流量計/氣體質量流量控制器出口接有液體源瓶，應在氣體質量流量計/氣體質量流量控制器出口安裝單向閥，防止液體回流損壞氣體質量流量計/氣體質量流量控制器。
3、氣體質量流量計/氣體質量流量控制器通道采用的材料為：SUS316L不銹鋼, 聚四氟乙烯，氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統無水汽、低泄漏、勤清洗、使用得當的條件下，可以用于控制一般的腐蝕性氣體。使用強腐蝕性氣體和有機溶劑氣體時，應在定貨時聲明。使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應改變。
4、氣體質量流量計/氣體質量流量控制器安裝時最好保持安裝面水平，但對位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，非水平位安裝時若發現零點偏移，可調整零點后再工作。如果用戶訂貨時注明安裝位置，我公司也可根據用戶的安裝位置進行標定后出廠。
5、對于氣體質量流量控制器要注意工作壓差，應注意使控制器進出氣口兩端的工作壓差保持在指標范圍之內。工作壓差不在規定的范圍內，流量將無法關閉或調小。在使用大流量的質量流量控制器時，要注意適當加粗管道和減小氣源內阻，若工作壓差小于要求值，有可能流量達不到滿量程值。
6、氣體質量流量控制器電磁調節閥并不能當做氣路截止閥使用，一般情況下用戶應在控制器進氣口前安裝電磁（手動）截止閥。（有必要時在氣體質量流量控制器前后都應加裝）
7、氣體質量流量控制器在閥控操作為“清洗”后不能直接轉為“閥控”狀態，應先切換至“關閉”狀態。